中科科仪 Pro场发射扫描电镜 低压新指标KYKY-EM8100F

中科科仪 Pro场发射扫描电镜 低压新指标KYKY-EM8100F

优势特点:Ø Schottky肖特基场发射电子枪亮度高、单色性好、电子束斑小,寿命长。

Ø 采用电子束加速镜筒,低压分辨率高。

Ø 束流稳定度高、色散小,适宜于长时间的各种精确分析,如BSE、EDS、EBSD。

Ø 低加速电压不导电样品可以直接观测,无需喷金。

Ø 操作简便,仅用鼠标即可完成所有的电镜操作。

 

项目

KYKY-EM8100F性能参数

分辨率

SE:1 nm(30KV); 3nm(1KV);BSE:2.5nm(30KV)

放大倍数

15x~800,000x

电子枪类型

肖特基场发射电子枪

加速电压

0 ~ 30Kv

自动调整功能

聚焦、亮度/对比度、消像散、电子束对中等

真空系统

2个离子泵,1个涡轮分子泵,1个机械泵

探测器

高真空二次电子探测器(具备保护探测器探头不被碰撞的功能)

样品台

五轴样品台(X/Y自动)

五轴自动台(大样品台)

5轴全自动样品台

X

0 ~ 80mm

0 ~ 150mm

Y

0 ~ 60mm

0 ~ 150mm

Z

0 ~ 50mm

0 ~ 60mm

R

360°

360°

T

-5° ~ 90°

-5° ~ 75°

选配探测器

背散射电子探测器,X-ray能谱仪(可选)

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