雅马拓(Yamato) 超纯水用比抵抗制御装置CO₂脱泡机N4R-N4C-1.0-50

雅马拓(Yamato) 超纯水用比抵抗制御装置CO₂脱泡机N4R-N4C-1.0-50

 

雅马拓N4R-N4C-1.0-50超纯水用比抵抗制御装置CO₂脱泡机主要特点:

超越新世纪的节约环保设计理念,采用当前最先 进的比阻抗控制技术,来抑制超纯水中静电的发生。

在半导体制造和FPD制造、晶元(芯片)切割工序中被用来对超纯水进行比阻抗的最优化控制,防止静电破坏和微粒子的附着。

创造划时代技术指标的最优秀产品。

可根据用途选择相应机型

装机容易

全机型阻抗探头内置,配管容易。

大水量,压力损失小

水量3000L/h时,压力损失0.06MPa

操作简单,控制精度高

开机后只需输入所要阻抗值,即可马上进行±0.03MΩ/cm精确控制。

可在高水压环境下运行

最高使用压力在0.5MPa,可以自由进行机种配置。

水量变动应答速度快

使用水量发生很大变化时也能迅速做出调整控制。

经济环保

不需要CO₂溶解膜等旧式机种必不可少的高价的消耗品,CO₂排气和排水也不要。

双氧水杀菌对应

可用3%双氧水进行杀菌处理,细菌繁殖也不用担心。

 

雅马拓N4R-N4C-1.0-50超纯水用比抵抗制御装置CO₂脱泡机技术指标:

 

机型

Rack type

N4R-1.0-50

Cabinet type

N4C-1.0-50

处理量

100–1000L/h

控制范围

0.15–1.7MΩ/cm

精度

集电阻率 ±0.03MΩ/cm

最大水压

0.5MPa

CO2压力

0.7MPa

压力损失

0.06MPa at 3000L/h

接口尺寸

3/4" 内螺纹

重量

Rack type

28Kg

Cabinet type

67Kg

外形尺寸

Rack type

480W*430L*250H(mm)

Cabinet type

430W*430L*1350H(mm)

电源

AC100–130V,AC220–240V,50/60Hz,single phase 1A

 

雅马拓(Yamato)         超纯水用比抵抗制御装置CO₂脱泡机N4R-N4C-1.0-50