雅马拓(Yamato) 电子半导体材料用氮气治愈烘箱C-119

雅马拓(Yamato) 电子半导体材料用氮气治愈烘箱C-119

 

雅马拓C-119电子半导体材料用氮气治愈烘箱主要特点:

温度控制、氮气导入、冷却过程全自动运行。使用氮气时的氧气置换率(残留量)可在100PPm以下。

双排气自动排气阀、氮气自动导入口、温度记录仪(槽内1点)、槽内温度监视探头(6点)、信号顶灯、紧急停止开关和独立过热防止器等标准装备。

立式上下双槽结构,省空间型设计。

 

雅马拓C-119电子半导体材料用氮气治愈烘箱技术指标:

方式

强制送风循环及一部分换气

温度范围

室温+15~175℃

分布精度

±3℃(at 175℃)

最高温度到达时间

15分(50→175℃)

外形尺寸

宽1230×深1010×高2070mm

内槽尺寸

宽550×深550×高550mm 2槽

 

雅马拓(Yamato)         电子半导体材料用氮气治愈烘箱C-119