雅马拓(Yamato) 电子半导体材料用氮气治愈烘箱C-119
雅马拓C-119电子半导体材料用氮气治愈烘箱主要特点:
温度控制、氮气导入、冷却过程全自动运行。使用氮气时的氧气置换率(残留量)可在100PPm以下。
双排气自动排气阀、氮气自动导入口、温度记录仪(槽内1点)、槽内温度监视探头(6点)、信号顶灯、紧急停止开关和独立过热防止器等标准装备。
立式上下双槽结构,省空间型设计。
雅马拓C-119电子半导体材料用氮气治愈烘箱技术指标:
方式 |
强制送风循环及一部分换气 |
温度范围 |
室温+15~175℃ |
分布精度 |
±3℃(at 175℃) |
最高温度到达时间 |
15分(50→175℃) |
外形尺寸 |
宽1230×深1010×高2070mm |
内槽尺寸 |
宽550×深550×高550mm 2槽 |
深。