中科科仪扫描电子显微镜KYKY-EM6200系列

优势特点：

Ø 经济实用

Ø 纯中文操作界面，具有一键成像功能

Ø 自动调整功能：电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等

Ø 自动校正、自动故障检测

Ø 低维护、维修成本

项目		EM6200	EM6200Z
分辨率		SE:4.5nm (30KV)；BSE:6.0nm (30KV)
放大倍数		底片放大：15X ~ 250,000X 屏幕放大：30X ~ 500000X
电子枪类型		翻开式发叉结构钨灯阴极
加速电压		0 ~ 30KV
透镜系统		三级电磁透镜（锥形物镜）
物镜光阑		三个光阑可在真空外选择调节
样品台		手动	X/Y轴自动
行程	X	0 ~ 50mm
	Y	0 ~ 50mm
	Z	0 ~ 25mm
	R	360°
	T	-5° ~ 90°
探测器		二次电子探测器，背散射电子探测器（可选），X-ray能谱仪（可选）
真空系统		分子泵

中科科仪扫描电子显微镜KYKY-EM6200系列

中科科仪扫描电子显微镜KYKY-EM6900系列

中科科仪扫描电子显微镜KYKY-EM6900系列

优势特点：

Ø 分辨率高，成像质量更好

Ø 翻开式发叉结构钨丝阴极，更换灯丝方便

Ø 纯中文操作界面，具有一键成像功能Ø 自动调整功能：电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等

Ø 自动校正、自动故障检测

Ø 低维护、维修成本

项目		EM6900	EM6900Z
分辨率		SE:3.0nm (30KV)；BSE:6.0nm (30KV)
放大倍数		底片放大：6X ~ 300,000X 屏幕放大：12X ~ 600000X
电子枪类型		翻开式发叉结构钨灯阴极
加速电压		0 ~ 30KV
透镜系统		三级电磁透镜（锥形物镜）
物镜光阑		三个光阑可在真空外选择调节
样品台		手动	X/Y轴自动
行程	X	0 ~ 80mm
	Y	0 ~ 60mm
	Z	0 ~ 50mm
	R	360°
	T	-5° ~ 90°
探测器		SE探测器，BSE探测器（可选），X-ray能谱仪（可选），EBSD（可选）
真空系统		分子泵

中科科仪扫描电子显微镜KYKY-EM6900系列

中科科仪场发射扫描电子显微镜KYKY-EM8000F

优势特点：Ø Schottky肖特基场发射电子枪亮度高、单色性好、电子束斑小，寿命长。

Ø 低加速电压下能保持较好的亮度和较高的分辨率。

Ø 束流稳定度高、色散小，适宜于长时间的各种精确分析，如BSE、EDS、EBSD。

Ø 低加速电压不导电样品可以直接观测，无需喷金。

Ø 操作简便，仅用鼠标即可完成所有的电镜操作。

项目		KYKY-EM8000F性能参数
分辨率		SE:1.5nm(15KV)；BSE:3nm(20KV)
放大倍数		15x~500,000x
电子枪类型		肖特基场发射电子枪
加速电压		0 ~ 30Kv
自动调整功能		聚焦、亮度/对比度、消像散、电子束对中等
真空系统		2个离子泵，1个涡轮分子泵，1个机械泵
探测器		高真空二次电子探测器（具备保护探测器探头不被碰撞的功能）
样品台		手动台	五轴自动台（大样品台）
5轴全自动样品台	X	0 ~ 80mm	0 ~ 150mm
	Y	0 ~ 60mm	0 ~ 150mm
	Z	0 ~ 50mm	0 ~ 60mm
	R	360°	360°
	T	-5° ~ 90°	-5° ~ 75°
选配探测器		背散射电子探测器，X-ray能谱仪（可选）

中科科仪场发射扫描电子显微镜KYKY-EM8000F