伊尔姆 德国伊尔姆(ilmvac) 杂交泵(抗腐蚀、高真空)
德国伊尔姆(ilmvac) 杂交泵(抗腐蚀、高真空)
杂交泵是旋片泵与抗化学腐蚀隔膜泵的组合体。它通过抗化学腐蚀的隔膜泵吸出滞留在旋片泵内的气体,使腐蚀性气体在旋片泵内的时间和数量大幅减少,进而大幅提高旋片泵的使用寿命,同时保留旋片泵制造的高真空。
型号 |
极限真空 mbar |
流速m3/h (L/min) |
外形尺寸mm (W/D/H) |
重量 |
货号 |
P6Z-101 |
< 2×10-3 |
5.8 (96.0) |
500/330/340 |
25.5 |
109030 |
P12Z-301 |
< 2×10-3 |
11.0 (183.0) |
230/480/380 |
40.5 |
109031 |
P23Z-301 |
< 2×10-3 |
21.0 (350.0) |
590/345/420 |
46.0 |
109032 |